半导体

近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）宣布通过不断提升反应台之间气体控制的精度， ICP 双反应台刻蚀机 Primo Twin-Star® 又取得新的突破，反应台之间的刻蚀精...

德国经济部表示补贴计划接收到的申请数量几乎是预期的三倍，宣称投资规模之和达到了 130 亿欧元。

九峰山实验室官方公众号于 3 月 22 日发布博文，宣布以氮化镓材料为核心，国际首创 8 英寸硅基氮极性氮化镓衬底（N-polar GaNOI）、创新推出全国首个 100nm 高性能氮化镓流片 PDK...